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半导体HAP-HERO® FAB for SMIF 4 x 4

产品型号:半导体HAP-HERO® FAB for SMIF 4 x 4

产品名称:半导体HAP-HERO® FAB for SMIF 4 x 4

性能特点:

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HAP-HERO® FAB for SMIF 4 x 4

Versions

•Vehicle with robot and 4   buffers for 200 mm SMIF pods

•Vehicle with robot and 2   buffers for FOUPs

•Vehicle with robot and 2   buffers for open cassettes

•Vehicle for transport only   ( 6 or more cassettes, boxes, …)



电   话: 010-62553066
010-62565779(总机)

传   真: 010-62566652

测量部:400-172-5117

测定部:400-820-5501