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SENSOFAR Sneox 3D光学轮廓仪

Sensofar S  系列

感受3D体验

3D光学轮廓仪,为您展现全新的3D立体形貌

全新设计的3D光学轮廓仪S neox颠覆传统,将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融于

一身,测量头内无运动部件。

共聚焦

共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高德横向分辨率,可达0.10um.利用它可以实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70°(粗糙表面达86°)。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

相位差干涉

相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。

白光干涉

白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。

多焦面叠加

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据我们在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验,特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。

顺序照明的彩色图像

每个像素点都能还原真实的色彩

在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明,并将三张单色的图片还原成一幅高分辨率的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法,S neox用这种技术获得的图片色彩保真度和还原性更胜一筹。

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3D形貌的最新体验

超清晰的细节

用高分辨率的摄像头将共聚焦的图像精彩呈现

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超清晰的细节

将纳米世界呈现给您

用高分辨率的摄像头将共聚焦的图像精彩呈现。

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应用实例

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多样的配置方案-平台尺寸

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电   话: 010-62553066
010-62565779(总机)

传   真: 010-62566652

测量部:400-172-5117

测定部:400-820-5501