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非接触式3D显微镜-Sensofar

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一.产品介绍

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二.测量原理



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共聚焦技术总结:

共聚焦轮廓提供最高的横向分辨率,最高可达 0.15μm 线条和空间,空间采样可减少到 0.01μm,这是关键尺寸测量的理想选择。高 NA (0.95) 和放大倍率 (150X) 的物镜可用于测量局部斜率超过 70°的光滑表面。对于粗糙表面,最高可允许86°

  • 最佳的横向分辨率:300 nm

  • 斜率高达 70º(光滑表面) 和 86º(粗糙表面) 

  • 连续共聚焦:速度堪比Ai多焦面叠加 

  • 高重复性,低至 1 nm 的系统噪声

  • 从 1.5 μm 到数毫米的厚度测量

  • 最高程度的灵活性,适用样品重量多样

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干涉技术总结:

采用干涉法,3D 测量能以最大精度进行。可沿 Z 轴扫描,在整个样本上获得条纹,分别从 PSI 或 CSI 的干涉图强度或相位获取高度信息,用获取的不同像素的高度重新构建 3D 图像。

带纳米系统噪声的大视场,无论物镜如何  

PSI:可达 0.01 nm

CSI:可达 0.1nm

从 1.5 μm 至 100 μm的厚度测量


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三.产品参数对比



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中翰仪器测定部

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电   话: 010-62553066
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